第390章 那些光刻机的往事(4 / 5)
最终,米国能源部和a斯麦达成了协议,允许其加入euvllc,共同参与开发,共享研究成果。
之后的六年,euvllc的研发人员发表了数百篇论文,大幅推进了euv技术的研究进展,割地求和的a斯麦虽然只是其中的小角色,但也有机会分得一杯羹。
分享技术只是一方面,收购走后门其实也是米国送给a斯麦的一份大礼。
之后米国的cymer公司研发出euv所需的大功率光源,成为a斯麦的供应商,更在四年后以25亿美元高价直接被阿斯麦并购。
别忘了,这可是光刻机的核心零件,这样顶尖的技术,全球范围也不超过三家。
毫不夸张的说,a斯麦虽然是一家何兰企业,但崛起的背后,其实是一场地地道道的米国式成功。
错而失euv关上了尼康光刻机的大门,加上诸多盟友的背叛则彻底焊死了尼康想要突围的出路。
说实话,当年的英特尔为了防止核心设备供应商一家独大,其实还是挺想带着尼康一起玩的。
32nm工艺制程时甚至独家采用尼康的光刻机,而之前的45nm,之后的22nm,也都是尼康和a斯麦同时供货。就连在2010年的lithovision大会上,英特尔还宣布将一直沿用193nm沉浸式光刻至11nm节点。
但备胎终究是备胎,一转身,英特尔就为了延续摩尔定律的节奏,巨资入股a斯麦,顺带将euv技术托付。
另一边,相比一步步集成了全球制造业精华的a斯麦,早年间就习惯单打独斗的n康在遭遇米国封锁后,更是一步步落后,先进设备技术跟不上且不提,就连落后设备的制造效率也迟迟提不上来。
当年,相同制程,a斯麦宣称“每小时可加工175~200片晶圆”,而尼康的数据是“每小时200片”。
但果真如此吗?这背后涉及到了一个叫做稼动率的制造业名词。简单理解为一台机器设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值。
使用a斯麦的设备,三星与台积电的稼动率常年维持在95%上下.
而这边尼康,被迫自研,什么零件都要自己做,但什么东西却总有是差点意思。
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之后的六年,euvllc的研发人员发表了数百篇论文,大幅推进了euv技术的研究进展,割地求和的a斯麦虽然只是其中的小角色,但也有机会分得一杯羹。
分享技术只是一方面,收购走后门其实也是米国送给a斯麦的一份大礼。
之后米国的cymer公司研发出euv所需的大功率光源,成为a斯麦的供应商,更在四年后以25亿美元高价直接被阿斯麦并购。
别忘了,这可是光刻机的核心零件,这样顶尖的技术,全球范围也不超过三家。
毫不夸张的说,a斯麦虽然是一家何兰企业,但崛起的背后,其实是一场地地道道的米国式成功。
错而失euv关上了尼康光刻机的大门,加上诸多盟友的背叛则彻底焊死了尼康想要突围的出路。
说实话,当年的英特尔为了防止核心设备供应商一家独大,其实还是挺想带着尼康一起玩的。
32nm工艺制程时甚至独家采用尼康的光刻机,而之前的45nm,之后的22nm,也都是尼康和a斯麦同时供货。就连在2010年的lithovision大会上,英特尔还宣布将一直沿用193nm沉浸式光刻至11nm节点。
但备胎终究是备胎,一转身,英特尔就为了延续摩尔定律的节奏,巨资入股a斯麦,顺带将euv技术托付。
另一边,相比一步步集成了全球制造业精华的a斯麦,早年间就习惯单打独斗的n康在遭遇米国封锁后,更是一步步落后,先进设备技术跟不上且不提,就连落后设备的制造效率也迟迟提不上来。
当年,相同制程,a斯麦宣称“每小时可加工175~200片晶圆”,而尼康的数据是“每小时200片”。
但果真如此吗?这背后涉及到了一个叫做稼动率的制造业名词。简单理解为一台机器设备实际的生产数量与可能的生产数量的比值。
使用a斯麦的设备,三星与台积电的稼动率常年维持在95%上下.
而这边尼康,被迫自研,什么零件都要自己做,但什么东西却总有是差点意思。
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