黑科技进修手册 第100节(6 / 7)
技术攻破首要是资金,没有资金学人开什么公司?做什么技术开发?
凭那么点天真热血的冲动想法而忽略了脚下不牢靠的基石,太蠢了。
郑河如是冷漠傲慢的想着,打发走计海,将消息简单汇报给陈天鹤。
陈天鹤正从私人专机上下来,落到美国的土地上。
“陈惊璆的事以后不用跟我说。”陈天鹤冷漠的说。
他抬头观看这座灯火通明的城市——
加利福尼亚州圣迭戈市,高通总部。
陈天鹤此行的目的。
***
光源系统是光刻机制造的核心,是晶圆光刻工程的起始步,与光刻工程后续每一步息息相关。
光源系统主要三大单元是光的产生、收集和均一化,初代光刻机的光源系统还包括光的纯化,但第四代、第五代的激光器产生的光源已经达到要求,只需要让光均匀化就行。
光是雕刻的工具,由激光器产生,涉及三项技术指标即光刻分辨率、套刻精度和产能。
光刻分辨率有一道计算公式,照公式调整影响因数从而提高光刻分辨率,这方面难度不大,但是受掩膜设计、抗蚀剂工艺等牵制,必须同时达到最佳化才能实现理想的光刻分辨率。
套刻精度与光刻分辨率相关,直接受其影响。
至于产能,则与光源系统的稳定相关。
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凭那么点天真热血的冲动想法而忽略了脚下不牢靠的基石,太蠢了。
郑河如是冷漠傲慢的想着,打发走计海,将消息简单汇报给陈天鹤。
陈天鹤正从私人专机上下来,落到美国的土地上。
“陈惊璆的事以后不用跟我说。”陈天鹤冷漠的说。
他抬头观看这座灯火通明的城市——
加利福尼亚州圣迭戈市,高通总部。
陈天鹤此行的目的。
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光源系统是光刻机制造的核心,是晶圆光刻工程的起始步,与光刻工程后续每一步息息相关。
光源系统主要三大单元是光的产生、收集和均一化,初代光刻机的光源系统还包括光的纯化,但第四代、第五代的激光器产生的光源已经达到要求,只需要让光均匀化就行。
光是雕刻的工具,由激光器产生,涉及三项技术指标即光刻分辨率、套刻精度和产能。
光刻分辨率有一道计算公式,照公式调整影响因数从而提高光刻分辨率,这方面难度不大,但是受掩膜设计、抗蚀剂工艺等牵制,必须同时达到最佳化才能实现理想的光刻分辨率。
套刻精度与光刻分辨率相关,直接受其影响。
至于产能,则与光源系统的稳定相关。
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